Beneq e Lazer Zentrum Hannover hanno sviluppato un sistema ALD spaziale per rivestire ottiche complesse e tridimensionali con film conformi.
Laser Zentrum Hannover e.V. – un istituto di ricerca indipendente e no-profit che si dedica alla promozione della ricerca applicata nel campo della tecnologia laser e fotonica – e il fornitore di sistemi per la deposizione di strato atomico (ALD) Beneq
hanno recentemente presentato il risultato della loro collaborazione. Beneq C2R ALD è un sistema ALD spaziale che permette di rivestire ottiche complesse e tridimensionali con film ottici conformi, con velocità di deposizione fino a 1 µm/ora.
Le ottiche emergenti, come quelle utilizzate nelle fotocamere degli smartphone, nelle maschere per la realtà virtuale/aumentata e nei dispositivi LiDAR, richiedono rivestimenti antiriflesso con una conformità migliore rispetto a quella ottenibile con i tradizionali processi PVD. Per affrontare questa nuova tendenza, LZH ha deciso di ampliare le sue capacità di rivestimento includendo il sistema ALD. L’azienda sta attualmente rivestendo strutture di reticoli ottici e lenti ottiche polimeriche destinate a maschere per la realtà virtuale e aumentata.
Il nuovo sistema Beneq C2R ALD può raggiungere velocità di deposizione 100 volte maggiori rispetto ai tipici processi ALD ed è alla pari con gli attuali processi PVD all’avanguardia, come lo sputtering con fascio ionico. La velocità di C2R permetterà quindi di rendere l’ALD adatto ai rivestimenti su scala industriale nel settore dell’ottica. La natura auto-limitante di ALD consente un controllo preciso dello spessore del film e rivestimenti altamente conformi su superfici strutturate, curve e a forma libera.
“L’ALD spaziale con Beneq C2R affronta le sfide poste dal rivestimento di ottiche di nuova generazione relative alla velocità di deposizione e alle prestazioni del film. È pronto per portare la produzione ad alti volumi con ALD in prima linea nel settore dell’ottica”, ha affermato Sami Sneck, vicepresidente Advanced ALD presso Beneq.
“Siamo rimasti sorpresi dal semplice adattamento dell’ALD ai rivestimenti per ottica. Con i classici processi PVD è quasi impossibile ottenere un rivestimento conforme su una superficie molto curva con gli stessi valori di riflessione o trasmissione su tutta l’area. Con l’ALD è molto semplice”, ha commentato Andreas Wienke, direttore del Dipartimento Componenti Ottici di LZH.
Inoltre, LZH ha recentemente implementato il proprio strumento di monitoraggio in-situ per migliorare le capacità di C2R. Il sistema consente il monitoraggio in tempo reale della crescita dello strato e la possibilità di riprogettare i rivestimenti, producendo film sottili molto precisi e riproducibili.
“Con il nuovo BBM e altre funzionalità aggiuntive stiamo alzando il livello di ciò che è possibile ottenere con l’ALD nel settore del rivestimento delle ottiche”, ha concluso Sneck.